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善准仪器

PDC系列

Harrick Plasma等离子清洗机

等离子清洗机(Plasma Cleaner)也叫等离子体刻蚀机，或者真空等离子处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗​机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆、改性、光刻胶灰化等目的。 
harrick plasma真空等离子处理仪
气体流量控制混合仪
气体混合仪
各路气体和混合气体流量的精准控制，
舱内压力的实时监控。
可支持两路气体输入
流量计A：49 mL/min（最大气体流量）
流量计B：104mL/min（最大气体流量）
控制精度：±2%（满量程）
热偶真空计和数显表（量程范围：1~9999mTorr）；
输入输出端口：0.25英寸，不锈钢材质
技术规格

型号

PDC-32G-2

PDC-002

PDC-002-HP

舱体大小

直径3x深6.5英寸圆柱体舱 (76mmx165mm)

直径6x深6.5英寸圆柱体舱 (152mmx165mm)

舱体材质

标配为派瑞克斯玻璃舱；可选配高纯度石英舱

常用气体

空气，氧气，氢气，氩气，氮气和其他混合气体

气路控制

标配一路气体；可选配多路气体混合计量控制

射频频率

13.56 MHz

射频档位

低档：680V/10mA/6.8W

中档：700V/15mA/10.5W

高档：720V/25mA/18W

低档：716V/10mA/7.16W

中档：720V/15mA/10.15W

高档：740V/40mA/29.60W

低档：716V/10mA/30W

中档：720V/15mA/38W

高档：740V/40mA/45W

输入功率

100 W

200 W

电源

220 V/50Hz

真空泵选配说明

项目

PDC-VPE-2 高级油泵

PDC-OPE-2 高级干泵

（适用于氧气等活性气体）

抽气速率

5.1 m³/hr

3.6 m³/hr

极限真空（气阀关闭时）

7.5 mTorr

100 mTorr

极限真空（气阀开放时）

150 mTorr

263 mTorr

真空润滑油

PDC-VPE-Oil

无需配备

订购信息

名称

数量

备注

等离子清洗机

1套

圆柱形真空腔体

托盘

1个

扩展型石英托盘

油性真空泵

1台

选配，可用于压缩空气和氮气

无油真空泵

1台

选配，可用于压缩空气、氮气和氧气

气体流量控制混合仪

1台

选配

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