PDC系列
Harrick Plasma等离子清洗机
型号
PDC-32G-2
PDC-002
PDC-002-HP
舱体大小
直径3x深6.5英寸圆柱体舱 (76mmx165mm)
直径6x深6.5英寸圆柱体舱 (152mmx165mm)
舱体材质
标配为派瑞克斯玻璃舱;可选配高纯度石英舱
常用气体
空气,氧气,氢气,氩气,氮气和其他混合气体
气路控制
标配一路气体;可选配多路气体混合计量控制
射频频率
13.56 MHz
射频档位
低档:680V/10mA/6.8W
中档:700V/15mA/10.5W
高档:720V/25mA/18W
低档:716V/10mA/7.16W
中档:720V/15mA/10.15W
高档:740V/40mA/29.60W
低档:716V/10mA/30W
中档:720V/15mA/38W
高档:740V/40mA/45W
输入功率
100 W
200 W
电源
220 V/50Hz
项目
PDC-VPE-2 高级油泵
PDC-OPE-2 高级干泵
(适用于氧气等活性气体)
抽气速率
5.1 m³/hr
3.6 m³/hr
极限真空(气阀关闭时)
7.5 mTorr
100 mTorr
极限真空(气阀开放时)
150 mTorr
263 mTorr
真空润滑油
PDC-VPE-Oil
无需配备
名称
数量
备注
等离子清洗机
1套
圆柱形真空腔体
托盘
1个
扩展型石英托盘
油性真空泵
1台
选配,可用于压缩空气和氮气
无油真空泵
选配,可用于压缩空气、氮气和氧气
气体流量控制混合仪
选配
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