Harrick Plasma等离子清洗机|等离子体刻蚀机|真空等离子处理仪

年专业研发制造经验

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PDC系列

Harrick Plasma等离子清洗机

等离子清洗机(Plasma Cleaner)也叫等离子体刻蚀机，或者真空等离子处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆、改性、光刻胶灰化等目的。

气体流量控制混合仪

各路气体和混合气体流量的精准控制，

舱内压力的实时监控。

可支持两路气体输入

流量计A：49 mL/min（最大气体流量）

流量计B：104mL/min（最大气体流量）

控制精度：±2%（满量程）

热偶真空计和数显表（量程范围：1~9999mTorr）；

输入输出端口：0.25英寸，不锈钢材质

技术规格

真空泵选配说明

订购信息

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