VP-S系列
真空等离子处理仪
VP-S系列真空等离子处理仪,等离子激发频率40KHz,具有双路气体精准控制,不锈钢真空腔体,40KHz微米级蚀刻,物理撞击作用最强(也叫等离子清洗机),配备的真空泵真空度高,低噪音,扩散在空气中油气少,避免实验室噪音和油气污染,适用于陶瓷、金属、玻璃、硅片等材料清洗。
中英文操作系统,触摸屏控制
界面智能化设计,避免误操作
真空泵和主机联动
噪音和油气污染小
质保两年完美设计,操作简易功能极致
型号
VP-S5
VP-S8
VP-S15
VP-S20
腔体材质
不锈钢
腔体容量
5L
8L
15L
20L
内腔尺寸
Φ150x270Lmm
320x160x160LxWxHmm
320x250x200LxWxHmm
400x250x200LxWxHmm
射频功率
300W
500W
射频频率
40KHZ
频率偏移量
小于0.2KHz
等离子体轰击
从上往下
等离子体激发
延时自动启动
腔体温度
满功率运行3分钟腔体温度<50℃
RP放射
无
清洗时间
0 - 800 S 可调
功率调节
连续可调
显示屏
4.3寸触摸屏
操作控制
提供中英文操作界面,触摸屏控制(设置清洗时间)
气体流量计
高精密2路浮子流量计
提供两路进气
气体流量 0-300ml/min可调(常用气体:氩气,氧气,氮气,氢气,其他混合气体)
进气管
两根6x4PU管,尾端配6转6快拧接头
泄压
等离子处理结束,自动泄压,泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道(选配)
真空泵极限真空度
5x10⁻²Pa
噪音
≤56dB
抽真空时间
启动到发出辉光≤35秒(时间可调)
真空检测
触摸屏有一键真空检测功能,数字显示
冷却方式
风冷
腔体门
传感器识别开/关,带可视窗高强度铝合金
真空泵控制
主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
供电电源
AC220V/50Hz
箱体平衡
减震橡胶脚杯
外形尺寸LxWxH
560x450x360mm
660x550x400mm
标准配置
主机、真空泵、1.5米波纹管、两路进气管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡
选配件
1、油污过滤器 2、干性真空泵,(防止油气挥发,高洁净实验室适用) 3、腔体大于20L可定制
典型用户
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