VP-S系列
真空等离子处理仪
VP-S系列真空等离子处理仪，等离子激发频率40KHz，具有双路气体精准控制，不锈钢真空腔体，40KHz微米级蚀刻，物理撞击作用最强（也叫等离子清洗机），配备的真空泵真空度高，低噪音，扩散在空气中油气少，避免实验室噪音和油气污染，适用于陶瓷、金属、玻璃、硅片等材料清洗。
腔体不锈钢
两路进气
频率40KHz
产品特性
BB设计理念操作简易
中英文操作系统，触摸屏控制
界面智能化设计，避免误操作
真空不锈钢腔体等离子清洗装置专利：201821506143X
真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389
频率40KHz，物理作用最强
腔体不锈钢，圆形玻璃透明观察窗，实时观看样品处理效果
真空泵和主机联动
噪音和油气污染小
清洗强度实时显示功率连续可调
两路进气通道，进气量可调，流量实时监测
数显真空检测，实时观察泄压动态
质保两年完美设计，操作简易功能极致
01
Better Reliability，Better Operation
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
电流实时监测，确保仪器稳定安全运行
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
清洗功率连续可调
02
不锈钢腔体设计，等离子激发频率40KHz
通入气体和泄压是独立通道互不干扰，自动泄压比手动泄压更方便
腔体低温，满功率运行3分钟腔体温度不高于50°C
等离子体激发频率40KHz，物理作用最强
等离子体从上向下发出，碰撞样品表面更激烈
真空腔体不锈钢材质，功率达到500W
03
细节把控，给用户更好体验
配备的真空泵噪音和油气污染小，真空度高
真空泵与主机联动，可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好
标配清洗托盘，方便使用
安捷伦Agilent 干泵（选配），避免油气污染
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
氮气/氢气等离子体刻蚀铜络合物油墨表面
玻璃基片等离子清洗，去除表面粉末杂质，提高亲水性
光刻胶匀胶前玻璃基板前处理，保证镀膜更均匀，更牢固，提高均一性
通入特殊气体，清洗金属氧化物粉末
金属油污去除
PLASMA等离子处理样品疏水性的应用方案（请联系在线工程师）
等离子体诱导铜油墨低温固化工艺及性能优化（善准科技VP-S5处理铜络合物油墨表面）
技术规格
订购信息
用户成果摘录
期刊名称：Applied Surface
期刊名称：Science
影响因子：6.7
中科院分区：一区
善准品牌：SUNJUNE
用户单位：中南大学
处理材料：PDMS（聚二甲基硅氧烷）
期刊名称：ADVANCED FUNCTIONAL
期刊名称：MATERIALS（AMF）
影响因子：19.2
中科院分区：一区
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：中国科学院北京纳米能源
用户单位：与系统研究所
处理材料：导电碳布（织物）
期刊名称：Nano Research
影响因子：8.532
中科院分区：一区
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：暨南大学
处理材料：PET(聚酯)
期刊名称：Science China
期刊名称：Materials
影响因子：8.1
中科院分区：一区
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：华南理工大学
处理材料：ITO(氧化铟锡)
典型用户
重庆市肿瘤医院
曲阜师范大学
北京科技大学
中山大学
广西师范大学
陕西科技大学
知识产权声明
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