VP-S系列
真空等离子处理仪
VP-S系列真空等离子处理仪，等离子激发频率40KHz，具有双路气体精准控制，不锈钢真空腔体，40KHz微米级蚀刻，物理撞击作用最强（也叫等离子清洗机），配备的真空泵真空度高，低噪音，扩散在空气中油气少，避免实验室噪音和油气污染，适用于陶瓷、金属、玻璃、硅片等材料清洗。
腔体不锈钢
两路进气
频率40KHz
产品特性
中英文操作系统，触摸屏控制
界面智能化设计，避免误操作
真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389
真空不锈钢腔体等离子清洗装置专利：201821506143X
频率40KHz，物理作用最强
BB设计理念操作简易
真空泵和主机联动
噪音和油气污染小
腔体不锈钢，圆形玻璃透明观察窗，实时观看样品处理效果
数显真空检测，实时观察泄压动态
两路进气通道，进气量可调，流量实时监测
清洗强度实时显示功率连续可调
质保两年完美设计，操作简易功能极致
01
Better Reliability，Better Operation
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
电流实时监测，确保仪器稳定安全运行
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
清洗功率连续可调
02
不锈钢腔体设计，等离子激发频率40KHz
通入气体和泄压是独立通道互不干扰，自动泄压比手动泄压更方便
316不锈钢腔体，腔体内温度小于50°C@180秒
40KHz等离子体物理性最强
等离子体从上向下发出，碰撞样品表面更激烈
03
细节把控，给用户更好体验
配备的真空泵噪音和油气污染小，真空度高
真空泵与主机联动，可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好
标配清洗托盘，方便使用
安捷伦Agilent 干泵（选配），避免油气污染
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
属于干法清洗，清洗过程无需添加化学试剂
玻璃基片等离子清洗，去除表面粉末杂质，提高亲水性
光刻胶匀胶前玻璃基板前处理，保证镀膜更均匀，更牢固，提高均一性
通入特殊气体，清洗金属氧化物粉末
氧等离子处理PDMS在微流控中的应用
PLASMA等离子处理样品疏水性的应用方案（请联系在线工程师）
技术规格
订购信息
用户成果摘录
典型用户
重庆市肿瘤医院
曲阜师范大学
北京科技大学
中山大学
广西师范大学
陕西科技大学
知识产权声明
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