20年研发经验
年专业研发制造经验
中国智​造行业领导品牌

VP-S系列

真空等离子处理仪​

频率40KHz

VP-S系列真空等离子处理仪,等离子激发频率40KHz,具有双路气体精准控制,不锈钢真空腔体,40KHz微米级蚀刻,物理撞击作用最强(也叫等离子清洗机),配备的真空泵真空度高,低噪音,扩散在空气中油气少,避免实验室噪音和油气污染,适用于陶瓷、金属、玻璃、硅片等材料清洗。

腔体不锈钢
两路进气
频率40KHz
产品特性
BB设计理念操作简易
真空不锈钢腔体等离子清洗装置专利:201821506143X
频率40KHz,物理作用最强

中英文操作系统,触摸屏控制

界面智能化设计,避免误操作

真空等离子处理仪控制软件​著作权:2021SR1026389
两路进气通道,进气量可调,流量实时监测
清洗强度实时显示功率连续可调

真空泵和主机联动

噪音和油气污染小

腔体不锈钢,圆形玻璃透明观察窗,实时观看样品处理效果
数显真空检测,实时观察泄压动态

质保两年完美设计,操作简易功能极致

01
Better Reliability,Better Operation
功率调节
英文简易操作
内置两路气路,气体流量可调,无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易,智能化设计,避免误操作
采用数字显示压力,实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统,触摸屏控制,人机界面友好
电流实时监测,确保仪器稳定安全运行
VP-S5触摸屏控制
中文简易操作
清洗时长可在触摸屏设置,等离子处理时间精确到秒(s)
PLASMA处理结束后,自动泄压,泄压时长和大小可调,可通入氮气泄压
清洗功率连续可调
02
不锈钢腔体设计,等离子激发频率40KHz
通入气体和泄压是独立通道互不干扰,自动泄压比手动泄压更方便
等离子清洗机
腔体低温,满功率运行3分钟腔体温度不高于50°C
3016不锈钢腔体
等离子体激发频率40KHz,物理作用最强
等离子体从上向下发出,碰撞样品表面更激烈
真空腔体不锈钢材质,功率达到500W
03
细节把控,给用户更好体验
国产真空泵
圆形高硼硅托盘
配备的真空泵噪音和油气污染小,真空度高
真空泵与主机联动,可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管,比橡胶管更耐用,密封性更好
标配清洗托盘,方便使用
KF25卡扣
1.5米不锈钢波纹管
安捷伦Agilent 干泵(选配),避免油气污染
OF-20油污过滤器(选配),避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
玻璃基片等离子清洗
导电玻璃清洗
玻璃基片
石墨烯
金属油污
氮气/氢气等离子体刻蚀铜络合物油墨表面
玻璃基片等离子清洗,去除表面粉末杂质,提高亲水性
光刻胶匀胶前玻璃基板前处理,保证镀膜更均匀,更牢固,提高均一性
通入特殊气体,清洗金属氧化物粉末
金属油污去除
PLASMA等离子处理样品疏水性的应用方案(请联系在线工程师)
等离子体诱导铜油墨低温固化工艺及性能优化(善准科技VP-S5处理铜络合物油墨表面)
技术规格

型号

VP-S5

VP-S8

VP-S15

VP-S20

腔体材质

不锈钢

腔体容量

5L

8L

15L

20L

内腔尺寸

Φ150x270Lmm

320x160x160LxWxHmm

320x250x200LxWxHmm

400x250x200LxWxHmm

功率

300W

500W

频率

40KHZ

频率偏移量

小于0.2KHz

等离子体轰击

从上往下

等离子体激发

延时自动启动

腔体温度

满功率运行3分钟腔体温度<50℃

RP放射

清洗时间

0 - 800 S 可调

功率调节

连续可调

显示屏

4.3寸触摸屏

操作控制

提供中英文操作界面,触摸屏控制(设置清洗时间)

气体流量计

高精密2路浮子流量计(常用气体:氧气,氩气,氮气,氢气,四氟化碳,氨气,二氧化碳等,其他混合气体)

提供进气气路

两路进气,气体流量 0-300ml/min可调

两路进气,气体流量 0-600ml/min可调

进气管

两根6x4PU管,尾端配6转6快拧接头

泄压

等离子处理结束,自动泄压,泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道(选配)

真空泵极限真空度

5x10⁻²Pa

噪音

≤56dB

抽真空时间

启动到发出辉光≤50秒(时间可调)

启动到发出辉光≤60秒(时间可调)

真空检测

触摸屏有一键真空检测功能,数字显示

冷却方式

风冷

腔体门

传感器识别开/关,带可视窗高强度铝合金

真空泵控制

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

外形尺寸LxWxH

560x450x360mm

660x550x400mm

订购信息

标准配置

主机、真空泵、2米波纹管、两路进气管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡

选配件

1、油污过滤器  2、干性真空泵,(防止油气挥发,高洁净实验室适用) 3、腔体大于20L可定制

用户成果摘录
成果2
成果4
成果3
成果1
成果2




期刊名称:Chemical Engineering

期刊名称:Journal 

影响因子:15.1

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE

用户单位:烟台大学

处理材料:PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称:NATURE 

影响因子:64.8

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:西湖大学

处理材料:氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

期刊名称:ADVANCED FUNCTIONAL

期刊名称:MATERIALS(AFM) 

影响因子:19.2

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:中国科学院北京纳米能

用户单位:与系统研究所

处理材料:导电碳布(织物)

期刊名称:Science China 

期刊名称:Materials 

影响因子:8.1

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:华南理工大学

处理材料:ITO(氧化铟锡) 

典型用户

重庆市肿瘤医院
曲阜师范大学
北京科技大学
中山大学
广西师范大学
陕西科技大学
知识产权声明
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