20年研发经验
年专业研发制造经验
中国智造行业品牌厂家
善准仪器

VP-S系列

真空等离子处理仪

频率40KHz
真空等离子处理仪

善准VP-S系列真空等离子处理仪，等离子激发频率40KHz，具有双路气体精准控制，不锈钢真空腔体，触摸屏智能化控制，中英文专利软件操作系统，真空度度数字显示，带可视窗铝合金腔门，自动识别腔门开启和关闭，40KHz微米级蚀刻，主要发挥物理撞击作用（也叫等离子清洗机），配备的双级旋片真空泵真空度高，低噪音，扩散在空气中油气少，避免实验室噪音和油气污染，适用于陶瓷、金属、玻璃、硅片等材料清洗。

两路进气
腔体不锈钢
频率40KHz
产品特性
BB设计理念操作简易

中英文操作系统，触摸屏控制

界面智能化设计，避免误操作

频率40KHz，主要发挥物理作用
真空等离子处理仪控制软件​著作权：2021SR1026389
真空不锈钢腔体等离子清洗装置专利：201821506143X

手机和平板可远程查看产品信息

两路进气通道，进气量可调，流量实时监测
数显真空检测，实时观察泄压动态
腔体不锈钢，圆形玻璃透明观察窗，实时观看样品处理效果
清洗强度实时显示功率连续可调

真空泵和主机联动

噪音和油气污染小

质保两年设计完善，操作简易性能可靠

01
Better Reliability，Better Operation
英文简易操作
功率调节
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
电流实时监测，确保仪器稳定安全运行
VP-S5触摸屏控制
中文简易操作
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
清洗功率连续可调
02
不锈钢腔体设计，等离子激发频率40KHz
真空腔体不锈钢材质，功率达到500W
等离子清洗机
3016不锈钢腔体
腔体低温，满功率运行3分钟腔体温度不高于50°C
等离子体激发频率40KHz，主要发挥物理作用
等离子体从上向下发出，碰撞样品表面更激烈
通入气体和泄压是独立通道互不干扰，自动泄压比手动泄压更方便
03
细节把控，给用户更好体验
国产真空泵
圆形高硼硅托盘
配备的双级旋片真空泵噪音和油气污染小，真空度高
真空泵与主机联动，可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
2米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好
KF25卡扣
1.5米不锈钢波纹管
标配清洗托盘，方便使用
安捷伦Agilent 干泵（选配），避免油气污染
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
04
典型用户

清华大学从2019年购买了善准第一台真空等离子处理仪VP-R3后续陆续购买真空等离子处理仪VP-RS6和旋转型真空等离子处理仪VP-T3，已累计购买10台

万向节固定石英管
石英管管接头
华南理工大学
清华大学

华南理工大学购买善准真空等离子处理仪VP-R3，经用户反馈与进口等离子产品(图左)相比使用体验更好，使用VP-R3参与做实验的论文累计发表11篇(不完成统计)

中山大学已购买善准真空等离子处理仪和真空封管机超过30套，是善准最大的单一客户
放火焰回火阀
石英管直通阀
同济大学
中山大学
同济大学2020年购买善准真空等离子处理仪，之后给我们介绍了很多客户(复旦、中科院、西湖大学等)，使用VP-R3参与做实验的研究成果“二维光电器件中的非对称操控”发表在期刊《Nature Communications》(中科院1区Top，影响因子16.6)
05
经典清洗案例分析
氮气/氢气等离子体刻蚀铜络合物油墨表面
玻璃基片等离子清洗
金属氧化物粉末去除
导电玻璃清洗
石墨烯
玻璃基片
金属油污
玻璃基片等离子清洗，去除表面粉末杂质，提高亲水性
光刻胶匀胶前玻璃基板前处理，保证镀膜更均匀，更牢固，提高均一性
通入特殊气体，清洗金属氧化物粉末
金属油污去除
PLASMA等离子处理样品疏水性的应用方案（请联系在线工程师）
技术规格

型号

VP-S5

VP-S8

VP-S15

VP-S20

腔体材质

不锈钢

腔体容量

5L

8L

15L

20L

内腔尺寸

Φ150x270Lmm

320x160x160LxWxHmm

320x250x200LxWxHmm

400x250x200LxWxHmm

功率

300W

500W

频率

40KHz

频率偏移量

小于0.2KHz

等离子体轰击

从上往下

等离子体激发

触摸屏一键自动启动

腔体温度

满功率运行3分钟腔体温度＜50℃

RP放射

无

清洗时间

0 - 800 s 可调

功率调节

连续可调

显示屏

4.3寸触摸屏

操作控制

触摸屏控制（设置清洗时间），并提供中英文两种操作界面

气体流量计

高精密2路浮子流量计（常用气体：氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳，氨气，二氧化碳等，其他混合气体）

提供进气气路

两路进气，气体流量 0-300ml/min可调

两路进气，气体流量 0-600ml/min可调

进气管

两根6x4PU管，尾端配6转6快拧接头

泄压

等离子处理结束，自动泄压，泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道（选配）

真空泵极限真空度

5x10⁻²Pa

噪音

≤52dB

≤58dB

抽真空时间

启动到发出辉光≤50秒（时间可调）

启动到发出辉光≤60秒（时间可调）

真空检测

数字显示，实时观察腔体真空度状态



泄漏检测

触摸屏上有一键泄漏检测功能

冷却方式

风冷

腔体门

带可视窗高强度铝合金，并在触摸屏上自动识别开/关

真空泵控制

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

质保期

主机质保2年，真空泵1年

机箱尺寸LxWxH

560x450x360mm

660x550x400mm

订购信息

标准配置

主机、双级旋片真空泵、2米波纹管、两路进气管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡

选配件

1、油污过滤器  2、干性真空泵，（防止油气挥发，高洁净实验室适用） 3、腔体大于20L可定制

用户成果摘录
成果2
成果3
成果4
成果1
成果2




期刊名称：Chemical Engineering

期刊名称：Journal 

影响因子：15.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE

用户单位：烟台大学

处理材料：PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称：Advanced Functional

期刊名称：Materials（AFM） 

影响因子：19.2

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：中国科学院北京纳米能源

用户单位：与系统研究所

处理材料：导电碳布（织物）

期刊名称：Nature 

影响因子：64.8

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：西湖大学

处理材料：氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

期刊名称：Science China 

期刊名称：Materials 

影响因子：8.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：华南理工大学

处理材料：ITO(氧化铟锡) 

典型用户

重庆市肿瘤医院
曲阜师范大学
北京科技大学
中山大学
广西师范大学
陕西科技大学
知识产权声明
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