20年研发经验
年专业研发制造经验
中国智​造行业领导品牌

VP-R3分体式

手套箱专用真空等离子处理仪

手套箱专用

  手套箱专用真空等离子处理仪是善准为了回应市场需求而研制的全球首创,国际领先的创新型产品。

  “得材料者得天下”,随着科技的发展,PLASMA作为材料处理的一种工艺,向着更精细化的方向推进,不少高校科研机构表示其材料的PLASMA处理、匀胶、镀膜需在无氧无水环境下进行,作为创新驱动型的公司,善准人义无反顾地接下了这个挑战,经过夜以继日的艰苦拼搏,反复测试,成功研发出手套箱专用的VP-R3分体式真空等离子处理仪,实现主机和真空腔体分离,既保留了真空等离子处理仪VP-R3自动化操作的便利及PLASMA处理效果,又实现把真空腔体分离,便于放入手套箱的狭小空间,完美解决了用户对PLASMA处理精细化的痛点。

  手套箱专用真空等离子处理仪VP-R3分体式是在VP-R系列基础上(专利:低温真空石英腔体等离子清洗装置)进行设计、研发,等离子体激发频率为13.56MHz,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32°C,不损伤样品,对材料表面起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、PI、二氧化硅、亚克力等几乎所有材料的PLASMA处理。

  手套箱专用真空等离子处理仪的腔体是独立的,真空腔采用石英玻璃——直径150mm,纵深200mm的圆柱形腔体;外壳采用耐腐蚀的高强度铝合金——长宽高为296x245x253mm;材料的放置、处理、取出均在无氧无水、零污染的手套箱内完成,从而实现PLASMA等离子处理更精细化的实验要求。

等离子处理仪
零污染环境
全球首创
手套箱专用
产品特性

两路进气通道,进气量可调,流量实时监测


腔体石英材质不会与等离子体产生反应,不会污染样品

腔体外壳长宽高为296x245x253mm

腔体温度不高于32℃,容积3L

全铝机箱外壳,耐腐蚀
13.56MHz物理清洁、刻蚀;化学改性、活化俱佳

低温真空石英腔体等离子清洗装置专利:ZL201830519505.8

手套箱,样品的放置、PLASMA等离子处理、取出均在无氧无水、零污染的手套箱内完成,实现样品处理更精细化的要求

技术突破  实现PLASMA等离子处理零污染环境

01
Better Reliability,Better Operation
内材料放置、处理、取出均在无氧无水、零污染的手套箱内完成
内置两路气路,气体流量可调,无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易,智能化设计,避免误操作
采用数字显示压力,实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统,触摸屏控制,人机界面友好
电流、电压实时监测,确保仪器稳定安全运行
中文简易操作
触摸屏控制
清洗时长可在触摸屏设置,等离子处理时间精确到秒(s)
PLASMA处理结束后,泄压时长和大小可调;可通入氮气等其他气体泄压
功率高、中、低三挡可调
02
全球首创,国际领先
主机与真空腔分离,全球首创
满功率运行30分钟真空腔内温度不高于32°C,不损伤样品
腔体温度小于32℃
VP-R3与国际一线品牌比对试验
腔体在手套箱内实物图
芯片去胶
13.56MHz等离子体处理对材料既有清洁、刻蚀、也有活化改性作用
自动化触摸屏控制,专利软件,操作简易
主机与真空泵联动,在触摸屏点击启动,真空泵开启,延时激发等离子体
腔体材质为石英,不与等离子体反应,确保样品不被污染
等离子体从腔体四周发出,对样品处理更均匀、更彻底
全铝机箱外壳,耐腐蚀
03
细节把控,给用户更好体验
真空泵
石英玻璃腔体
配备的真空泵噪音和油气污染小,真空度高
真空泵与主机联动,可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管,比橡胶管更耐用,密封性更好
标配清洗托盘,方便使用
1.5米不锈钢波纹管
OF-25油污过滤器
安捷伦Agilent干泵(选配),避免油气污染
OF-20油污过滤器(选配),避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末杂质和油质,增加石墨烯表面亲水基团(-OH)提高亲水性
PDMS材料等离子活化
cf
石墨烯粉末等离子清洗
PDMS键合
硅片亲水性
碳毯CF
金属工件油污等离子清洗,不损伤样品,去除表面油污
PDMS等离子活化改性,提升亲水性和键合力
ITO导电玻璃亲水性处理并提高其功函数
二维材料的清洁、刻蚀
硅片亲水性处理,改性、活化表面
氧等离子处理PDMS在微流控中的应用
PLSAMA等离子处理样品疏水性的应用方案(请联系在线工程师)
05
石墨烯粉末亲水性处理XPS谱图分析
处理前石墨烯粉末溶于蒸馏水,会粘在瓶壁上
处理后石墨烯粉末上下摇匀后,不会粘在瓶壁
处理后
处理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底,肉眼可见分层明显
处理后石墨烯粉末悬浮在水体,说明其亲水性增强
绿色曲线为处理前的XPS谱图,曲线一直都是平稳走向

红色曲线为处理后的XPS谱图,曲线在285eV左右有个峰值,

可知石墨烯粉末的性质已改变

处理前
处理后
处理前
处理后石墨烯导热率可提高40%,稳定性增强
06
ITO导电玻璃等离子VP-R3处理接触角测量仪分析
石英玻璃腔体
真空泵
CM-180接触角测定可知,未处理ITO接触角为80°C,处理后ITO接触角48°C,亲水性明显增强
处理前平均接触角、右接触角和左接触角三条曲线分离,处理后三条曲线重合,说明ITO表面更平整
卡扣
1.5米不锈钢波纹管
满功率运行30分钟腔体温度低于32°C,非常适合ITO导电玻璃不耐热属性
通入氧等离子体时,可以提高ITO导电玻璃的功函数
技术规格

型号

VP-R3分体式

VP-R3分体式 Pro

腔体材质

石英玻璃

腔体容量

3L

内腔尺寸

Φ150x200Lmm

射频功率

200W

射频频率

13.56MHz

RF放射

频率偏移量

小于0.2KHz

等离子体轰击

从四周向中间

等离子体激发

延时自动启动

腔体温度

满功率运行30分钟腔体温度<32℃ 

清洗时间

0 - 1800S 可调

功率调节

高、中、低三挡可调

显示屏

4.3寸触摸屏

5.0寸触摸屏

操作控制

提供中英文操作界面,触摸屏控制(设置清洗时间等)

气体流量计

高精密2路浮子流量计

——

质量流量控制器

——

提供2路气体质量流量控制器(MFC),可选配耐腐蚀类型

气体流量控制

——

数字控制,0-600sccm 可调

流量控制器响应时间

——

<100ms

可控制气体种类

——

内置40种气体控制并可在触摸屏上选对应的气体种类(常用气体:氩气、氮气、氢气、氧气、甲烷、氨气、四氟化碳、八氟环丁烷等)

提供进气气路

两路进气,气体流量0-300ml/min可调(常用气体:氩气,氧气,氮气,氢气,氨气等,其他混合气体)

——

进气管

两根6x4PU管,尾端配6转6快拧接头

泄压

手动开关泄压,泄压时长和速度可调,可提供氮气或其他气体泄压通道

真空泵极限真空度

5x10⁻²Pa

噪音

≤56dB

抽真空时间

启动到发出辉光≤35秒(时间可调)

真空检测

触摸屏上有一键真空检测功能,数字显示

冷却方式

风冷

腔体门

带可视窗高强度铝合金

真空泵控制

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

真空腔外壳尺寸

(LxWxH)

296x245x253mm

真空腔外壳材质

耐腐蚀的高强度铝合金

订购信息

标准配置

主机、真空泵、2米波纹管、两路进气管、清洗托盘、六角工具、说明书、合格证、保修卡

选配件

1、油污过滤器 2、高硼硅圆形托盘 3、干性真空泵(防止油气挥发,高洁净实验室适用)

用户成果摘录
成果2
成果4
成果3
成果1
成果2




期刊名称:Chemical Engineering

期刊名称:Journal 

影响因子:15.1

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE

用户单位:烟台大学

处理材料:PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称:NATURE 

影响因子:64.8

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:西湖大学

处理材料:氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

期刊名称:Science China 

期刊名称:Materials 

影响因子:8.1

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:华南理工大学

处理材料:ITO(氧化铟锡) 

期刊名称:ADVANCED FUNCTIONAL

期刊名称:MATERIALS(AFM) 

影响因子:19.2

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:中国科学院北京纳米能

用户单位:与系统研究所

处理材料:导电碳布(织物)

典型用户

浙江大学
复旦大学
西湖大学
华中科技大学
哈尔滨工业大学
中科院物理所
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