20年研发经验
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年专业研发制造经验
中国智​造行业领导品牌
善准仪器

VP-T系列

旋转型真空等离子处理仪​​

粉末专用

  VP-T3和VP-TS7旋转型真空等离子处理仪的研制成功是善准人不断拼搏、勇于创新的最好体现，打破了国外厂商对此技术的垄断，目前已获得两项国家专利（一种低温旋转型石英等离子表面处理装置，专利号：2020202268472和一种旋转型不锈钢等离子表面处理装置，专利号：2020202275512），为中国智造在该领域进入世界级领先水平贡献自己的力量。

  VP-T3和VP-TS7旋转型真空等离子处理仪完美解决了微小颗粒特别是粉末样品PLASMA处理不完全，不均匀的痛点，真空腔体的旋转模块在等离子处理过程中滚动旋转，从而带动粉末样品在真空环境下翻滚，从而确保样品得到完全、均匀的等离子处理。适用于石墨烯粉末、碳纳米管粉末、硼粉、铝粉、铁粉、橡胶粉、聚乙二醇粉、蜡基温拌添加剂粉等PLASMA等离子处理。

  VP-T3和VP-TS7频率都是13.56MHz，腔体分别采用石英（容积3L）和不锈钢（容积7L），旋转型真空等离子处理仪转速可调，可关闭（不旋转相当于普通真空等离子处理仪），一机两用，性价比很高。

旋转型真空等离子处理仪

频率​13.56MHz

旋转

等离子体

低温

<32度(T3)

产品特性

中英文操作系统，触摸屏控制，界面智能化设计，避免误操作

数显真空检测，实时观察泄压动态

真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389

BB设计理念，操作简易

一种低温旋转型石英等离子表面处理专利号：2020202268472

等离子体处理仪

频率13.56MHz，物理清洁、刻蚀，化学改性、活化俱佳

功率高、中、低三挡可调

清洗强度实时显示

真空泵和主机联动，整机安静，噪音和油气污染少

转速0-30r/min可调、可停止，一机两用

两路进气通道，进气量可调，流量实时监测


旋转型真空等离子处理仪的研制成功，进一步巩固了善准的行业领导地位

01
Better Reliability，Better Operation
微小颗粒、粉末样品PLASMA处理不完全，不均匀的解决方案
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利控制软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
中文简易操作
触摸屏控制
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束，自动泄压，泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
功率高、中、低三挡可调（VP-T3）或连续调节（VP-TS7）
02
填补国内技术空白，打破国际垄断
腔体温度小于32℃
VP-R3与国际一线品牌比对试验
国内首创，巩固行业领导品牌
自动化触摸屏控制，专利软件，操作简易
腔体低温，满功率运行30分钟腔体温度小于32°C（VP-T3）
VP-T系列推出两个型号，分别采用腔体材质不锈钢和石英玻璃
腔体旋转从而带动样品翻滚，使样品处理更全面、更均匀
腔体转速可调，可停止，停止时相当于常规等离子处理仪，一机两用，性价比高
03
细节把控，给用户更好体验
配备高精度泄压阀，泄压时长、速度可调，确保小颗粒或粉末样品不被吹散
真空泵
石英玻璃腔体
配备的真空泵噪音和油气污染小，真空度高
真空泵与主机联动，可在触摸屏控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好
1.5米不锈钢波纹管
OF-25油污过滤器
石英材质真空腔体不与等离子体产生反应，不会污染样品（VP-T3）
安捷伦Agilent干泵（选配），避免油气污染
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
金属油污等离子清洗
PDMS材料等离子活化
石墨烯粉末等离子清洗
胶体粉末
合金粉末
石墨烯粉末
硼粉、铝粉改性、还原
提升胶粉、铁铝粉、纳米碳粉亲水性和分散性
PDMS等离子清洗，改变表面性质，提高粘接能力
聚乙二醇粉末、蜡基温拌添加剂粉末处理
催化剂粉末、金属氧化物粉末PLASMA处理
纳米碳粉等离子处理视频
二氧化硅表面附石墨烯等离子处理视频（请联系在线工程师）
05
石墨烯粉末VP-T3亲水性处理XPS谱图分析
处理前石墨烯粉末溶于蒸馏水时，会粘在玻璃壁上
处理后
处理后石墨烯粉末上下摇匀后，不会粘在玻璃瓶壁
处理前石墨烯粉末很快下沉到玻璃瓶底，肉眼可见中间透明
处理后石墨烯粉末悬浮在水体，说明其亲水性增强
绿色曲线为处理前的XPS谱图，曲线一直都是平稳走向

红色曲线为处理后的XPS谱图，曲线在285eV左右有个峰值，

可知石墨烯粉末的性质已改变

处理前
处理后
处理前
处理后可提高40%导热性能和提高石墨烯的稳定性
石墨烯用于第三代半导体封装散热管理的研究（联系工程师）
06
橡胶粉VP-TS7旋转型真空等离子处理仪案例分析
真空泵
橡胶粉等离子体处理前（如图左），大部分黑色橡胶粉漂浮在水体上面，与水体有明显的分层，样品难溶于水
橡胶粉等离子体处理后（如图右），大部分黑色橡胶粉溶于水中，且悬浮在水体中，说明样品亲水性明显提升
橡胶粉等离子体处理后（如图右），经玻璃棒搅拌，整个烧杯水体变成黑色，橡胶粉均匀铺满整个烧杯中，且粉末没有团聚，说明样品分散性明显提升
对比橡胶粉等离子体处理前后的结果可知，VP-TS7旋转型真空等离子处理仪处理橡胶粉能明显提升其亲水性和分散性
处理后
处理前
橡胶粉VP-TS7旋转型真空等离子处理仪案例视频
07
合金粉末VP-TS7旋转型真空等离子处理仪案例分析
合金粉末等离子体处理前（如图左），灰色合金粉末部分沉入水底，部分粉末漂浮在水面上，说明合金粉末难溶于水
再仔细观察可以发现，合金粉末等离子体处理前（如图左），沉入水底的合金粉末结成块状，团聚在一起，且烧杯内壁也沾满了粉末
合金粉末等离子处理后（如图右），烧杯内壁没有沾上合金粉末，粉末悬浮于水中或分散均匀沉于水底，没有形成团聚性，说明提升了亲水性，且底部没有形成块状的，说明提升样品的分散性
对比合金粉末等离子体处理前后的结果可知，VP-TS7旋转型真空等离子处理仪处理合金粉末可以提升样品的亲水性和分散性
处理后
处理前
合金粉末VP-TS7旋转型真空等离子处理仪处理案例视频
技术规格

型号

VP-T3

VP-TS7

腔体材质

石英玻璃

不锈钢

腔体容量

3L

7L

内腔尺寸

Φ150x200Lmm

250x160x190LxWxHmm

腔体转速

0-30r/min可调

射频功率

160W

500W

功率调节

高、中、低三挡可调

连续调节

射频频率

13.56MHz

RF放射

无

频率偏移量

小于0.2KHz

等离子体激发

延时自动启动

等离子体轰击

从四周向中间

从上往下

腔体内温度

满功率运行30分钟腔体温度＜32℃ 

满功率运行3分钟腔体温度<50°C

清洗时间

0 - 1800S 可调

显示屏

4.3寸触摸屏

操作控制

提供中英文操作界面，触摸屏控制（设置清洗时间）

气体流量计

高精密2路浮子流量计

提供两路进气

气体流量0-600ml/min可调（常用气体：氩气，氧气，氮气，氢气，氨气，其他混合气体）

进气管

两根6x4 PU管，尾端配6转6快拧接头

泄压

等离子处理结束，自动泄压，泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道（选配）

真空泵极限真空度

5x10⁻²Pa

抽真空时间

启动到发出辉光≤35秒（时间可调）

真空检测

触摸屏上有一键真空检测功能，数字显示

冷却方式

风冷

腔体门

传感器识别开/关，带可视窗高强度铝合金

真空泵控制

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

外形尺寸(LxWxH)

560x450x360mm

560x450x390mm

订购信息

标准配置

主机、真空泵、1.5米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡、两路进气管

选配件

1、安捷伦干式真空泵，防止油气挥发（高洁净实验室适用），2、OF-20油污过滤器

用户成果摘录
成果4
成果3
成果1
成果2

典型用户

东华大学
电子科技大学
国防科技大学
中科院新疆理化所
中山大学
昆明理工大学
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