Diener Plasma等离子清洗机
型号
Atto系列
Zepto系列
Femto系列
Pico系列
Nano系列
控制系统
手动或者自动
腔体大小
10.5L
1.7-2.6L
1.9-6L
4-15L
18-36L
电极
单层或者多层RIE
样品支架
玻璃材质
铝板、不锈钢板、
硼硅玻璃、石英玻璃
石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、
气源控制
针型阀或者质量流量控制器 (MFCs)
计时器
数字型
高频电流发生器
40kHz/200W
或者13.56MHz/50W
40kHz/100W
40kHz/200W,1000W
或者13.56MHz/50W,
100W,300W
或者2.45GH/100W,
300 W
或者2.45GH/300W
40kHz/300W,1000W
或者13.56MHz/100W，300W
或者2.45GHz/600W
功率调节
0-100%无级可调型
真空泵
KASHIYAMA
规格需定制
电源电压
AC220V
台式设备为230V，立式设备为400V/3相位
根据样品大小选择真空腔室
项目
真空腔室
Atto 系列
玻璃材质（∅211*300 mm）
1.圆形石英玻璃(UHP)，配有盖子（Φ105*200/300mm）
2.圆形硼硅玻璃(UHP)，配有盖子（Φ105*200/300mm）
Femto 系列
1.圆形不锈钢件，配有盖子（Φ100*278mm/600mm）
2.矩形不锈钢件，配有铰链的门（宽*深*高103*285*103mm)
3.配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（Φ95*280/600mm）
4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ95*280/600mm）
5.配有盖子的硼硅玻璃(UHP)或者配有铰链的门（Φ95*280/600mm）
1.圆形不锈钢件，配有盖子（Φ150*320/600mm）
2.矩形不锈钢件，配有铰链的门（宽*高*深160*160*325/600mm）
3.配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（Φ130*300mm/600mm）
4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ130*300/600mm）
5.配有盖子的圆形硼硅玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ130*300/600mm）
1.圆形不锈钢件，配有盖子（Φ267*420/600mm）
2.矩形不锈钢件，配有铰链的门（宽*高*深240*240*420/600mm）
3.配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（Φ240*400mm/600mm）
4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ240*400mm/600mm）
5.配有盖子的圆形硼硅玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ240*400mm/600mm）
目录
数量
备注
主机
一台
等离子清洗机
操作说明书
一本
善准科技受邀参加第二十一届全国等离子体科学技术会议
近两年来中国在等离子体科学技术各领域取得的成果及最新进展，善准等离子亮相大会。
一文读懂PLASMA真空等离子处理仪工作原理
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