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中国智造行业品牌厂家
善准仪器

Diener Plasma等离子清洗机

Diener Plasma等离子清洗机，也叫做等离子处理仪可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面激活，主要等离子效应可分为三类：一是微砂喷射：材料表面通过离子轰击被消减；二是化学反应：材料表面与离子化的气体发生化学反应；三是紫外线放射：紫外射线将长链碳化合物分解。适合于高科技生产单位的以下场合：半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等。 
等离子处理仪
技术规格

型号

Atto系列

Zepto系列

Femto系列

Pico系列

Nano系列

控制系统

手动或者自动

腔体大小

10.5L

1.7-2.6L

1.9-6L

4-15L

18-36L

电极

单层或者多层RIE

样品支架

玻璃材质

铝板、不锈钢板、

硼硅玻璃、石英玻璃

石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、

硼硅玻璃、石英玻璃

气源控制

针型阀或者质量流量控制器 (MFCs)

计时器

数字型

高频电流发生器

40kHz/200W

或者13.56MHz/50W

40kHz/100W

或者13.56MHz/50W

40kHz/200W,1000W

或者13.56MHz/50W,

100W,300W

或者2.45GH/100W,

300 W

40kHz/200W,1000W

或者13.56MHz/50W,

100W,300W

或者2.45GH/300W

40kHz/300W,1000W

或者13.56MHz/100W，300W

或者2.45GHz/600W

功率调节

0-100%无级可调型

真空泵

KASHIYAMA

规格需定制

电源电压

AC220V

台式设备为230V，立式设备为400V/3相位

根据样品大​小选择真空腔室

项目

真空腔室

Atto 系列

玻璃材质（∅211*300 mm）

Zepto系列

1.圆形石英玻璃(UHP)，配有盖子（Φ105*200/300mm）

2.圆形硼硅玻璃(UHP)，配有盖子（Φ105*200/300mm）

Femto 系列

1.圆形不锈钢件，配有盖子（Φ100*278mm/600mm）

2.矩形不锈钢件，配有铰链的门（宽*深*高103*285*103mm)

3.配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（Φ95*280/600mm）

4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ95*280/600mm）

5.配有盖子的硼硅玻璃(UHP)或者配有铰链的门（Φ95*280/600mm）

Pico系列

1.圆形不锈钢件，配有盖子（Φ150*320/600mm）

2.矩形不锈钢件，配有铰链的门（宽*高*深160*160*325/600mm）

3.配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（Φ130*300mm/600mm）

4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ130*300/600mm）

5.配有盖子的圆形硼硅玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ130*300/600mm）

Nano系列

1.圆形不锈钢件，配有盖子（Φ267*420/600mm）

2.矩形不锈钢件，配有铰链的门（宽*高*深240*240*420/600mm）

3.配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（Φ240*400mm/600mm）

4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ240*400mm/600mm）

5.配有盖子的圆形硼硅玻璃(UHP)，或者配有铰链的门（Φ240*400mm/600mm）

配置清单

目录

数量

备注

主机

一台

等离子清洗机

真空泵

一台


操作说明书

一本


用户成果摘录
成果2
成果4
成果1
成果3
成果2




期刊名称：Chemical Engineering

期刊名称：Journal 

影响因子：15.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE

用户单位：烟台大学

处理材料：PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称：ADVANCED FUNCTIONAL

期刊名称：MATERIALS（AFM） 

影响因子：19.2

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：中国科学院北京纳米能源

用户单位：与系统研究所

处理材料：导电碳布（织物）

期刊名称：NATURE 

影响因子：64.8

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：西湖大学

处理材料：氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

期刊名称：Science China 

期刊名称：Materials 

影响因子：8.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：华南理工大学

处理材料：ITO(氧化铟锡) 

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