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Diener Plasma等离子清洗机

Diener Plasma等离子清洗机,也叫做等离子处理仪可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面激活,主要等离子效应可分为三类:一是微砂喷射:材料表面通过离子轰击被消减;二是化学反应:材料表面与离子化的气体发生化学反应;三是紫外线放射:紫外射线将长链碳化合物分解。适合于高科技生产单位的以下场合:半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等。 
等离子处理仪
技术规格

型号

Atto系列

Zepto系列

Femto系列

Pico系列

Nano系列

控制系统

手动或者自动

腔体大小

10.5L

1.7-2.6L

1.9-6L

4-15L

18-36L

电极

单层或者多层RIE

样品支架

玻璃材质

铝板、不锈钢板、

硼硅玻璃、石英玻璃

石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、

硼硅玻璃、石英玻璃

气源控制

针型阀或者质量流量控制器 (MFCs)

计时器

数字型

高频电流发生器

40kHz/200W

或者13.56MHz/50W

40kHz/100W

或者13.56MHz/50W

40kHz/200W,1000W

或者13.56MHz/50W,

100W,300W

或者2.45GH/100W,

300 W

40kHz/200W,1000W

或者13.56MHz/50W,

100W,300W

或者2.45GH/300W

40kHz/300W,1000W

或者13.56MHz/100W,300W

或者2.45GHz/600W

功率调节

0-100%无级可调型

真空泵

KASHIYAMA

规格需定制

电源电压

AC220V

台式设备为230V,立式设备为400V/3相位

根据样品大​小选择真空腔室

项目

真空腔室

Atto 系列

玻璃材质(∅211*300 mm)

Zepto系列

1.圆形石英玻璃(UHP),配有盖子(Φ105*200/300mm)

2.圆形硼硅玻璃(UHP),配有盖子(Φ105*200/300mm)

Femto 系列

1.圆形不锈钢件,配有盖子(Φ100*278mm/600mm)

2.矩形不锈钢件,配有铰链的门(宽*深*高103*285*103mm)

3.配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门(Φ95*280/600mm)

4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP),或者配有铰链的门(Φ95*280/600mm)

5.配有盖子的硼硅玻璃(UHP)或者配有铰链的门(Φ95*280/600mm)

Pico系列

1.圆形不锈钢件,配有盖子(Φ150*320/600mm)

2.矩形不锈钢件,配有铰链的门(宽*高*深160*160*325/600mm)

3.配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门(Φ130*300mm/600mm)

4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP),或者配有铰链的门(Φ130*300/600mm)

5.配有盖子的圆形硼硅玻璃(UHP),或者配有铰链的门(Φ130*300/600mm)

Nano系列

1.圆形不锈钢件,配有盖子(Φ267*420/600mm)

2.矩形不锈钢件,配有铰链的门(宽*高*深240*240*420/600mm)

3.配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门(Φ240*400mm/600mm)

4.配有盖子的圆形石英玻璃(UHP),或者配有铰链的门(Φ240*400mm/600mm)

5.配有盖子的圆形硼硅玻璃(UHP),或者配有铰链的门(Φ240*400mm/600mm)

配置清单

目录

数量

备注

主机

一台

等离子清洗机

真空泵

一台


操作说明书

一本


用户成果摘录
成果2
成果4
成果1
成果3
成果2




期刊名称:Chemical Engineering

期刊名称:Journal 

影响因子:15.1

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE

用户单位:烟台大学

处理材料:PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称:ADVANCED FUNCTIONAL

期刊名称:MATERIALS(AFM) 

影响因子:19.2

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:中国科学院北京纳米能

用户单位:与系统研究所

处理材料:导电碳布(织物)

期刊名称:NATURE 

影响因子:64.8

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:西湖大学

处理材料:氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

期刊名称:Science China 

期刊名称:Materials 

影响因子:8.1

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:华南理工大学

处理材料:ITO(氧化铟锡) 

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