VP-RS系列
真空等离子处理仪
VP-RS系列真空等离子处理仪对标国际一线品牌，填补国内技术空白（专利：真空不锈钢腔体等离子清洗装置），真空腔体不锈钢材质，功率500W，VP-RS系列频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行3分钟，腔体温度不高于45℃，不损伤样品，适用于晶圆去胶、芯片去胶、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
13.56MHz
芯片去胶
干法刻蚀
产品特性
数显真空检测，实时观察自动泄压动态
真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389
中英文操作系统，触摸屏控制，界面智能化设计，避免误操作
13.56MHz物理清洁、刻蚀；化学改性、活化俱佳
BB设计理念，操作简易
腔体不锈钢材质
低温＜45℃
两路进气通道，进气量可调，流量实时监测
等离子清洗强度实时显示
功率连续可调
真空不锈钢腔体等离子清洗装置专利：201821506143X
实时电压监测
真空泵和主机联动噪音和油气污染小
卓越性能 缔造真空等离子处理仪行业领导品牌
01
Better Reliability，Better Operation
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调；可通入氮气泄压
功率连续可调
02
对标国际一线品牌，填补国内技术空白
国内首创，13.56MHz频率用于PLASMA处理
性能比肩国际一线产商，在控制自动化，人性化设计方面国际领先
通入气体和泄压是独立通道互不干扰；自动泄压比手动泄压更方便
腔体低温，满功率运行3分钟腔体温度不高于45°C，不损伤样品
腔体材质为不锈钢，功率达到500W
13.56MHz等离子体处理对材料既有清洁、刻蚀、也有活化改性作用
03
细节把控，给用户更好体验
真空腔体不锈钢材质，功率达到500W
配备的真空泵噪音和油气污染小，真空度高
真空泵与主机联动，可在触摸屏控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好
标配清洗托盘，方便使用
安捷伦Agilent干泵（选配），避免油气污染
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质，增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
煤粉等离子低温灰化、碳毯（CF）亲水性处理
PDMS等离子活化改性，提升亲水性和键合力
晶圆去胶，芯片去胶等干法刻蚀
二维材料的清洁、刻蚀
硅片亲水性处理，改性、活化表面
氧等离子处理PDMS在微流控中的应用
PLSAMA等离子处理样品疏水性的应用方案（请联系在线工程师）
05
石墨烯粉末VP-RS6亲水性处理XPS谱图分析
处理前石墨烯粉末溶于蒸馏水，会粘在瓶壁上
处理后石墨烯粉末上下摇匀后，不会粘在瓶壁
处理后
处理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底，肉眼可见分层明显
处理后石墨烯粉末悬浮在水体，说明其亲水性增强
绿色曲线为处理前的XPS谱图，曲线一直都是平稳走向
红色曲线为处理后的XPS谱图，曲线在285eV左右有个峰值，
可知石墨烯粉末的性质已改变
处理前
处理后
处理前
处理后石墨烯导热率可提高40%，稳定性增强
石墨烯用于第三代半导体封装散热管理的研究
06
ITO导电玻璃等离子VP-RS6处理接触角测量仪分析
CM-180接触角测定可知，未处理ITO接触角为80°C，处理后ITO接触角48°C，亲水性明显增强
处理前平均接触角、右接触角和左接触角三条曲线分离，处理后三条曲线重合，说明ITO表面更平整
VP-RS系列满功率运行3分钟腔体温度低于45°C，非常适合ITO导电玻璃不耐热属性
通入氧等离子体时，可以提高ITO导电玻璃的功函数
技术规格
订购信息
用户成果摘录
典型用户
烟台大学
浙江大学
哈尔滨工业大学
中北大学
华中科技大学
西湖大学
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