VP-RS系列
真空等离子处理仪
VP-RS系列真空等离子处理仪对标国际一线品牌,填补国内技术空白(专利:真空不锈钢腔体等离子清洗装置),真空腔体不锈钢材质,功率500W,VP-RS系列频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,不损伤样品,适用于晶圆去胶、芯片去胶、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
真空等离子处理仪控制软件著作权:2021SR1026389
中英文操作系统,触摸屏控制,界面智能化设计,避免误操作
腔体不锈钢材质
低温<45℃
两路进气通道,进气量可调,流量实时监测
真空不锈钢腔体等离子清洗装置专利:201821506143X
卓越性能 缔造真空等离子处理仪行业领导品牌
红色曲线为处理后的XPS谱图,曲线在285eV左右有个峰值,
可知石墨烯粉末的性质已改变
期刊名称:Applied Surface
期刊名称:Science
影响因子:6.7
中科院分区:一区
善准品牌:SUNJUNE
用户单位:中南大学
处理材料:PDMS(聚二甲基硅氧烷)
期刊名称:Nano Research
影响因子:8.532
中科院分区:一区
善准品牌:SUNJUNE PLASMA
用户单位:暨南大学
处理材料:PET(聚酯)
期刊名称:ADVANCED FUNCTIONAL
期刊名称:MATERIALS(AMF)
影响因子:19.2
中科院分区:一区
善准品牌:SUNJUNE PLASMA
用户单位:中国科学院北京纳米能源
用户单位:与系统研究所
处理材料:导电碳布(织物)
期刊名称:Science China
期刊名称:Materials
影响因子:8.1
中科院分区:一区
善准品牌:SUNJUNE PLASMA
用户单位:华南理工大学
处理材料:ITO(氧化铟锡)
典型用户