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年专业研发制造经验
中国智造行业品牌厂家

VP-Q系列

真空等离子体处理仪

频率2.45GHz

VP-Q系列真空等离子处理仪,等离子激发频率是2.45GHz,石英玻璃腔体,中英文操作系统,触摸屏控制,2.45GHz主要是化学作用,适用于金属油污去除、半导体、塑料、PP、高分子等材料清洗,活化,蚀刻和改性。

2.45GHz
腔体石英
简易操作
产品特性

低温真空石英腔体等离子清洗装置专利:2018305195058

真空等离子处理仪控制软件著作权:2021SR1026389

数显真空检测,实时观察泄压动态

中英文操作系统,触摸屏控制,界面智能化设计,避免误操作

BB设计理念

操作简易

功率高、中、低三挡可调
清洗强度实时显示

两路进气通道,进气量可调,流量实时监测


实时电压监测
真空泵和清洗机联动,安静,噪音和油气污染小

频率2.45GHz,纳米级化学蚀刻

满功率运行3分钟腔体低温<40

性能可靠,缔造真空等离子处理仪行业品牌厂家

01
Better Reliability,Better Operation
英文简易操作
功率调节
内置两路通入气体,气体流量可调,无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易,智能化设计,避免误操作
采用数字显示压力,实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统,触摸屏控制,人机界面友好
电流、电压实时监测,确保仪器稳定安全运行
中文简易操作
触摸屏控制
清洗时长可在触摸屏设置,等离子处理时间精确到秒(s)
PLASMA处理结束后,自动泄压,泄压时长和大小可调;可通入氮气泄压
功率高、中、低三挡可调
02
石英等离子腔体设计
腔体材质为石英,不与等离子体反应,保证样品不被污染
等离子清洗系统
石英腔体
石英低温,满功率运行3分钟腔体温度不高于40°C,不损伤样品
等离子激发频率2.45GHz,纳米级化学刻蚀
等离子体从腔体向四周发出,对样品处理更均匀、更充分
通入气体和泄压是独立通道互不干扰,自动泄压比手动泄压更方便
03
细节把控,给用户更好体验
高硼硅圆形托盘
配备的真空泵噪音和油气污染小,真空度高
真空泵与主机联动,可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管,比橡胶管更耐用,密封性更好
1.5米不锈钢波纹管
OF-25油污过滤器
标配清洗托盘,方便使用
安捷伦Agilent 干泵(选配),避免油气污染
OF-20油污过滤器(选配),避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末杂质和油质增加石墨烯表面亲水基团(-OH)提高亲水性
PDMS等离子处理
金属油污等离子去除
石墨烯等离子处理
PDMS
玻璃基片
金属油污
金属工件油污等离子清洗,不损伤样品,去除表面油污
PDMS等离子处理,提高粘接能力,微流控键合能力
玻璃基片等离子处理,提高亲水性
二氧化硅VP-Q3等离子处理视频(请联系在线工程师)
技术规格

型号

VP-Q3

VP-Q5

VP-Q10

腔体材质

石英玻璃

腔体容量

3L

5L

10L

内腔尺寸

Φ150x200Lmm

Φ150x270Lmm

Φ200x320Lmm

功率

400W

频率

2.45GHz微波等离子源

放电类型

磁增强微波放电

RF放射

等离子体激发

延时自动启动

等离子体轰击

从四周向中间

腔体内温度

满功率运行3分钟腔体温度<40℃

清洗时间

0 - 1800S 可调

功率调节

高、中、低三挡可调

显示屏

4.3寸触摸屏

操作控制

提供中英文操作界面,触摸屏控制(设置清洗时间)

气体流量计

高精密2路浮子流量计

提供进气气路

两路进气,气体流量 0-300ml/min可调(常用气体:氩气,氧气,氮气,氢气,四氟化碳,氨气,二氧化碳等,其他混合气体)

进气管

两根6x4PU管,尾端配6转6快拧接头

泄压

等离子处理结束,自动泄压,泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道(选配)

真空泵极限真空度

5x10⁻²Pa

噪音

≤56dB

抽真空时间

启动到发出辉光≤50秒(时间可调)

启动到发出辉光≤60秒(时间可调)

真空检测

触摸屏上有一键真空检测功能,数字显示

冷却方式

风冷

腔体门

传感器识别开/关,带可视窗高强度铝合金

真空泵控制

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

外形尺寸(LxWxH)

560x450x360mm

650x500x445mm

订购信息

标准配置

主机、真空泵、2米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡、两路进气管

选配件

1、干性真空泵(防止油气挥发,高洁净实验室适用) 2、油污过滤器  3、高硼硅圆形托盘

用户成果摘录
成果2
成果1
成果4
成果3
成果2




期刊名称:Chemical Engineering

期刊名称:Journal 

影响因子:15.1

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE

用户单位:烟台大学

处理材料:PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称:Science China 

期刊名称:Materials 

影响因子:8.1

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:华南理工大学

处理材料:ITO(氧化铟锡) 

期刊名称:NATURE 

影响因子:64.8

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:西湖大学

处理材料:氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

期刊名称:ADVANCED FUNCTIONAL

期刊名称:MATERIALS(AFM) 

影响因子:19.2

中科院分区:一区

善准品牌:SUNJUNE PLASMA

用户单位:中国科学院北京纳米能

用户单位:与系统研究所

处理材料:导电碳布(织物)

典型用户

广东工业大学
松山湖材料实验室
中山大学
四川轻化工大学
上海科技大学
浙江大学
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