20年研发经验
年专业研发制造经验
中国智造行业品牌厂家
善准仪器

VP-Q系列

真空等离子体处理仪

频率2.45GHz
真空等离子体处理仪

善准VP-Q系列真空等离子处理仪，等离子激发频率是2.45GHz，石英玻璃腔体，真空度数字显示，提供两路进气，中英文专利软件操作系统，触摸屏智能化控制，带可视窗高强度铝合金腔门，触摸屏上自动识别腔门开启和关闭，2.45GHz主要是化学作用，适用于金属油污去除、半导体、塑料、PP、高分子等材料清洗，活化，蚀刻和改性。

腔体石英
2.45GHz
简易操作
产品特性

真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389

低温真空石英腔体等离子清洗装置专利：CN201821507327.8

BB设计理念

操作简易

中英文操作系统，触摸屏控制，界面智能化设计，避免误操作

数显真空检测，实时观察泄压动态
低温等离子处理仪

手机和平板可远程查看产品信息

功率高、中、低三挡可调

两路进气通道，进气量可调，流量实时监测


清洗强度实时显示

满功率运行3分钟腔体低温＜40℃

实时电压监测

频率2.45GHz，纳米级化学蚀刻

真空泵和清洗机联动，安静，噪音和油气污染小

性能可靠，缔造真空等离子处理仪行业品牌厂家

01
Better Reliability，Better Operation
英文简易操作
功率调节
内置两路通入气体，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行
中文简易操作
触摸屏控制
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调；可通入氮气泄压
功率高、中、低三挡可调
02
石英等离子腔体设计
等离子清洗系统
腔体材质为石英，不与等离子体反应，保证样品不被污染
石英腔体
石英低温，满功率运行3分钟腔体温度不高于40°C，不损伤样品
等离子激发频率2.45GHz，纳米级化学刻蚀
等离子体从腔体向四周发出，对样品处理更均匀、更充分
通入气体和泄压是独立通道互不干扰，自动泄压比手动泄压更方便
03
细节把控，给用户更好体验
高硼硅圆形托盘
配备的双级旋片真空泵噪音和油气污染小，真空度高
真空泵与主机联动，可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
2米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好
1.5米不锈钢波纹管
OF-25油污过滤器
标配清洗托盘，方便使用
安捷伦Agilent 干泵（选配），避免油气污染
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
04
典型用户

清华大学从2019年购买了善准第一台真空等离子处理仪VP-R3后续陆续购买真空等离子处理仪VP-RS6和旋转型真空等离子处理仪VP-T3，已累计购买10台

万向节固定石英管
石英管管接头
华南理工大学
清华大学

华南理工大学购买善准真空等离子处理仪VP-R3，经用户反馈与进口等离子产品(图左)相比使用体验更好，使用VP-R3参与做实验的论文累计发表11篇(不完成统计)

中山大学已购买善准真空等离子处理仪和真空封管机超过30套，是善准最大的单一客户
石英管直通阀
放火焰回火阀
同济大学
中山大学
同济大学2020年购买善准真空等离子处理仪，之后给我们介绍了很多客户(复旦、中科院、西湖大学等)，使用VP-R3参与做实验的研究成果“二维光电器件中的非对称操控”发表在期刊《Nature Communications》(中科院1区Top，影响因子16.6)
05
经典案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
PDMS等离子处理
金属油污等离子去除
石墨烯等离子处理
PDMS
玻璃基片
金属油污
金属工件油污等离子清洗，不损伤样品，去除表面油污
PDMS等离子处理，提高粘接能力，微流控键合能力
玻璃基片等离子处理，提高亲水性
二氧化硅VP-Q3等离子处理视频（请联系在线工程师）
技术规格

型号

VP-Q3

VP-Q5

VP-Q10

腔体材质

石英玻璃

腔体容量

3L

5L

10L

内腔尺寸

Φ150x200Lmm

Φ150x270Lmm

Φ200x320Lmm

功率

400W

频率

2.45GHz微波等离子源

放电类型

磁增强微波放电

RF放射

无

等离子体激发

触摸屏一键自动启动

等离子体轰击

从四周向中间

腔体内温度

满功率运行3分钟腔体温度＜40℃

清洗时间

0 - 1800S 可调

功率调节

高、中、低三挡可调

显示屏

4.3寸触摸屏

操作控制

触摸屏控制（设置清洗时间），并提供中英文两种操作界面

气体流量计

高精密2路浮子流量计（常用气体：氩气，氧气，氮气，氢气，四氟化碳，氨气，二氧化碳等，其他混合气体）

提供进气气路

两路进气，气体流量0-300ml/min可调

两路进气，气体流量

0-600ml/min可调

进气管

两根6x4PU管，尾端配6转6快拧接头

泄压

等离子处理结束，自动泄压，泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道（选配）

真空泵极限真空度

5x10⁻²Pa

噪音

≤52dB

抽真空时间

启动到发出辉光≤50秒（时间可调）

启动到发出辉光≤60秒（时间可调）

真空检测

触摸屏上有一键真空检测功能，数字显示，实时观察腔体真空度状态

泄漏检测

触摸屏上有一键泄漏检测功能

冷却方式

风冷

腔体门

带可视窗高强度铝合金，并在触摸屏上自动识别开/关

真空泵控制

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

质保期

主机质保2年，真空泵1年

机箱尺寸（LxWxH）

560x450x360mm

650x500x420mm

订购信息

标准配置

主机、双级旋片真空泵、2米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡、两路进气管

选配件

1、干性真空泵（防止油气挥发，高洁净实验室适用） 2、油污过滤器  3、高硼硅圆形托盘

用户成果摘录
成果2
成果1
成果4
成果3
成果2




期刊名称：Chemical Engineering

期刊名称：Journal 

影响因子：15.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE

用户单位：烟台大学

处理材料：PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称：Science China 

期刊名称：Materials 

影响因子：8.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：华南理工大学

处理材料：ITO(氧化铟锡) 

期刊名称：Nature 

影响因子：64.8

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：西湖大学

处理材料：氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

期刊名称：Advanced Functional

期刊名称：Materials（AFM） 

影响因子：19.2

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：中国科学院北京纳米能源

用户单位：与系统研究所

处理材料：导电碳布（织物）

典型用户

松山湖材料实验室
广东工业大学
中山大学
上海科技大学
四川轻化工大学
浙江大学
知识产权声明
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