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中国智​造行业领导品牌
善准仪器

VP-Q系列

真空等离子体处理仪

频率2.45GHz
真空等离子体处理仪

VP-Q系列真空等离子处理仪，等离子激发频率是2.45GHz，石英玻璃腔体，中英文操作系统，触摸屏控制，2.45GHz化学性最强的特点，适用于金属油污去除、半导体、塑料、PP、高分子等材料清洗，活化，蚀刻和改性。

2.45GHz
腔体石英
简易操作
产品特性

低温真空石英腔体等离子清洗装置专利：2018305195058

真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389

中英文操作系统，触摸屏控制，界面智能化设计，避免误操作

数显真空检测，实时观察泄压动态

BB设计理念

操作简易

低温等离子处理仪

两路进气通道，进气量可调，流量实时监测


满功率运行3分钟腔体低温＜40℃

功率高、中、低三挡可调
真空泵和清洗机联动，安静，噪音和油气污染小
清洗强度实时显示
实时电压监测

频率2.45GHz，纳米级化学蚀刻

卓越性能，缔造真空等离子处理仪行业领导品牌

01
Better Reliability，Better Operation
功率调节
英文简易操作
内置两路通入气体，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行
中文简易操作
触摸屏控制
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调；可通入氮气泄压
功率高、中、低三挡可调
02
石英等离子腔体设计
腔体材质为石英，不与等离子体反应，保证样品不被污染
等离子清洗系统
石英腔体
石英低温，满功率运行3分钟腔体温度不高于40°C，不损伤样品
等离子激发频率2.45GHz，纳米级化学刻蚀
等离子体从腔体向四周发出，对样品处理更均匀、更彻底
通入气体和泄压是独立通道互不干扰，自动泄压比手动泄压更方便
03
细节把控，给用户更好体验
高硼硅圆形托盘
配备的真空泵噪音和油气污染小，真空度高
真空泵与主机联动，可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好
1.5米不锈钢波纹管
OF-25油污过滤器
标配清洗托盘，方便使用
安捷伦Agilent 干泵（选配），避免油气污染
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
金属油污等离子去除
PDMS等离子处理
石墨烯等离子处理
PDMS
玻璃基片
金属油污
金属工件油污等离子清洗，不损伤样品，去除表面油污
PDMS等离子处理，提高粘接能力，微流控键合能力
玻璃基片等离子处理，提高亲水性
二氧化硅VP-Q3等离子处理视频（请联系在线工程师）
技术规格

型号

VP-Q3

VP-Q5

VP-Q10

腔体材质

石英玻璃

腔体容量

3L

5L

10L

内腔尺寸

Φ150x200Lmm

Φ150x270Lmm

Φ200x320Lmm

功率

400W

频率

2.45GHz微波等离子源

RF放射

无

等离子体激发

延时自动启动

等离子体轰击

从四周向中间

腔体内温度

满功率运行3分钟腔体温度＜40℃

清洗时间

0 - 1800S 可调

功率调节

高、中、低三挡可调

显示屏

4.3寸触摸屏

操作控制

提供中英文操作界面，触摸屏控制（设置清洗时间）

气体流量计

高精密2路浮子流量计

提供进气气路

两路进气，流量 0-300ml/min可调（常用气体：氩气，氧气，氮气，氢气，氨气其他混合气体）

进气管

两根6x4PU管，尾端配6转6快拧接头

泄压

等离子处理结束，自动泄压，泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道（选配）

真空泵极限真空度

5x10⁻²Pa

噪音

≤56dB

抽真空时间

启动到发出辉光≤35秒（时间可调）

真空检测

触摸屏上有一键真空检测功能，数字显示

冷却方式

风冷

腔体门

传感器识别开/关，带可视窗高强度铝合金

真空泵控制

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

外形尺寸（LxWxH）

560x450x360mm

650x500x445mm

订购信息

标准配置

主机、真空泵、1.5米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡、两路进气管

选配件

1、干性真空泵（防止油气挥发，高洁净实验室适用） 2、油污过滤器  3、高硼硅圆形托盘

用户成果摘录
成果4
成果1
成果3
成果2
中科院1区/SUNJUNE PLASMA/ITO
​中科院2区/SUNJUNE PLASMA/CF
​中科院1区/SUNJUNE PLASMA/PDMS
​中科院1区/SUNJUNE PLASMA/PET PEN

典型用户

广东工业大学
松山湖材料实验室
中山大学
四川轻化工大学
浙江大学
上海科技大学
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