处理效果

一次清洗干净，基本没有残留物，同时可提高基体表面膜的附着力。

清洗时需反复多次操作，有时还需要进一步处理：如干燥或其他清理。

处理过程

工艺过程容易控制，操作简易，效率高，处理时间可以控制。

清洗材料及清洗工艺要求较高，工艺过程较难控制。

处理对象

可处理不同的基材，金属、半导体、氧化物、高分子材料及各种整体或局部结构复杂的工件。

按材料分为钢、铝、钛等金属，不同金属需要选择不同的材料，而多数非金属不能选用溶剂清洗。

处理原料副作用

所需材料多为惰性或者反应气体（氩气、氢气、氧气、二次氧化碳，氮气等），无毒害，无污染。

多数的溶剂都为苯类合成材料，具有较大的毒性，污染环境。

产生副产物的处理

反应副产物为无毒气体，可直接排放大气中，更安全。

大量的废物需进一步处理，难回收再次利用，浪费资源。