VP-A系列全自动真空等离子处理仪，凝聚善准等离子体技术之精髓，将等离子处理工艺的优化精度提升至全新高度，为高质量生产与前沿研究提供强大支撑。
善准VP-A系列提供四大关键工艺参数的自由优化：处理时间、气体流量、气体种类及功率。VP-A系列标配双通道气体质量流量控制器（MFC），流量控制精度达±1%，调节范围覆盖0-300sccm，触摸屏支持多达20种气体的便捷选择与控制，几乎涵盖所有等离子处理工艺所需气体，显著提升了工艺的可靠性、重复性与精细度。
VP-A系列提供三款标准型号：VP-A5（石英腔体）、VP-A6（不锈钢腔体）、VP-A7（旋转腔体，适用于块体及粉末样品处理）。
一种旋转型不锈钢等离子表面处理装置 专利号：ZL2020202275512
真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389
中英文操作系统，触摸屏控制，界面智能化设计，避免误操作，气体流量数字控制，腔体真空度数字显示
转速0-30r/min可调、可停止，一机两用（VP-A7）
频率13.56MHz，物理清洁、刻蚀，化学改性、活化俱佳
全自动真空等离子处理仪的研制成功，开创等离子体技术发展
Better Reliability，Better Operation
微小颗粒、粉末样品PLASMA处理不充分，不均匀的解决方案
内置两路MFC气路，气体流量数字控制0-300sccm可调
真空等离子处理仪专利控制软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束，自动泄压，泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
功率高、中、低三挡可调（VP-A5）或连续调节（VP-A7、VP-A6）
配置两路气体质量流量控制器0-300sccm可调，精度±1%
采用一种旋转型不锈钢等离子表面处理装置国家专利技术（VP-A7）
腔体低温，满功率运行30分钟腔体温度小于32°C（VP-A5）
腔体旋转从而带动样品翻滚，使样品处理更全面、更均匀（VP-A7）
腔体转速可调，可停止，停止时相当于常规等离子处理仪，一机两用，性价比高（VP-A7）
配备高精度泄压阀，泄压时长、速度可调，确保小颗粒或粉末样品不被吹散
带可视窗高强度铝合金腔门，触摸屏上自动识别腔门开或关
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
清华大学从2019年购买了善准第一台真空等离子处理仪VP-R3后续陆续购买真空等离子处理仪VP-RS6和旋转型真空等离子处理仪VP-T3，已累计购买10台
华南理工大学购买善准真空等离子处理仪VP-R3，经用户反馈与进口等离子产品(图左)相比使用体验更好，使用VP-R3参与做实验的论文累计发表11篇(不完成统计)
中山大学已购买善准真空等离子处理仪和真空封管机超过30套，是善准最大的单一客户
同济大学2020年购买善准真空等离子处理仪，之后给我们介绍了很多客户(复旦、中科院、西湖大学等)，使用VP-R3参与做实验的研究成果“二维光电器件中的非对称操控”发表在期刊《Nature Communications》(中科院1区Top，影响因子16.6)
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
PDMS微流控芯片键合，改变表面性质，提高粘接能力
聚醚醚酮（PEEK）粉末和聚四氟乙烯（PTFE）亲水性前后对比
二氧化硅表面附石墨烯等离子处理视频（请联系在线工程师）
处理前石墨烯粉末很快下沉到玻璃瓶底，肉眼可见中间透明
绿色曲线为处理前的XPS谱图，曲线一直都是平稳走向
红色曲线为处理后的XPS谱图，曲线在285eV左右有个峰值，
可知石墨烯粉末的性质已改变
石墨烯纳米铜复合材料界面键合机理及强化传热研究-广东工业大学
橡胶粉等离子体处理前（如图左），大部分黑色橡胶粉漂浮在水体上面，与水体有明显的分层，样品难溶于水
橡胶粉等离子体处理后（如图右），大部分黑色橡胶粉溶于水中，且悬浮在水体中，说明样品亲水性明显提升
橡胶粉等离子体处理后（如图右），经玻璃棒搅拌，整个烧杯水体变成黑色，橡胶粉均匀铺满整个烧杯中，且粉末没有团聚，说明样品分散性明显提升
对比橡胶粉等离子体处理前后的结果可知，VP-A7全自动真空等离子处理仪处理橡胶粉能明显提升其亲水性和分散性
华南理工大学该成果《旋转等离子体处理蜡基添加剂表面活化提高沥青流变性能》发表在Buildings期刊-善准旋转型真空等离子处理仪
合金粉末等离子体处理前（如图左），灰色合金粉末部分沉入水底，部分粉末漂浮在水面上，说明合金粉末难溶于水
再仔细观察可以发现，合金粉末等离子体处理前（如图左），沉入水底的合金粉末结成块状，团聚在一起，且烧杯内壁也沾满了粉末
合金粉末等离子处理后（如图右），烧杯内壁没有沾上合金粉末，粉末悬浮于水中或分散均匀沉于水底，没有形成团聚性，说明提升了亲水性，且底部没有形成块状的，说明提升样品的分散性
对比合金粉末等离子体处理前后的结果可知，VP-A7全自动真空等离子处理仪处理合金粉末可以提升样品的亲水性和分散性
中科院新疆理化所使用善准VP-T3旋转型等离子处理仪参与做实验研究成果《有功能化不锈钢毡存在的乳化油滴在水中的电荷诱导聚集》发表在《Separation and Purification Technology》期刊（中科院1区Top，影响因子：8.2）
型号 | VP-A5 | VP-A6 | VP-A7 |
腔体材质 | 石英玻璃 | 不锈钢 | 不锈钢和石英 |
腔体容量 | 5L | 6L | 7L |
内腔尺寸(mm) | Φ150xD270 | 160x160x250(WxHxD) | 160x190x250(WxHxD) |
腔体转速 | —— | 0-30r/min可调 |
射频频率 | 13.56MHz |
射频功率 | 0-200W，自动电阻阻抗匹配 | 0-500W，自动电阻阻抗匹配 |
功率调节 | 高、中、低三挡可调 | 连续调节 |
过载保护 | 具有电流过载保护功能，实时显示电流值 |
RF放射 | 无 |
频率偏移量 | 小于0.2KHz |
等离子体激发 | 触摸屏一键自动启动 |
等离子体轰击 | 从四周向中间 | 从上往下
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腔体内温度 | 满功率运行30分钟腔体 温度＜32℃ | 满功率运行3分钟腔体温度<45°C |
清洗时间 | 0 - 1800 s 可调，精确到1秒 |
显示屏 | 5寸触摸屏 |
操作控制 | 触摸屏控制（设置清洗时间，时间精确到秒，设置气体流量和种类，0-300sccm可调），并提供中英文两种操作界面 |
质量流量控制器 | 提供2路气体质量流量控制器（MFC），可选配耐腐蚀类型 |
气体流量控制 | 数字化控制，0-300sccm 可调 |
流量控制器响应时间
| <100ms |
气体流量读取精度 | ±1% |
可控制气体种类 | 内置20种气体控制并可在触摸屏上选空气、氩气、氮气、氢气、氧气、氦气、甲烷、乙烷、乙烯、一氧化碳、二氧化碳、一氧化二氮、四氟化碳、六氟化硫等气体对应的种类 |
记忆功能 | 操作系统自动记录上次一次处理参数——气体流量和处理时间设定值，再次使用只需点击触摸屏上“启动”即可开始与上一次一样PLASMA处理，操作简单 |
真空度 | 配置数字真空传感器，真空度触摸屏数字显示，实时观察腔体内真空度 |
进气管 | 两根6x4 PU管，尾端配6转6快拧接头 |
泄压 | 等离子处理结束，自动泄压，泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道（选配） |
整机气密性高 | 接上波纹管，连接等离子主机腔室，真空度＜10Pa |
真空泵真空度 | 极限全压力≤5x10-¹Pa |
抽速 | ≥4m³/h | ≥8m³/h |
噪音 | ≤52dB |
抽真空时间 | 启动到发出辉光≤50秒（时间可调） |
真空检测 | 触摸屏数字显示 |
泄漏检测 | 触摸屏上有一键泄漏检测功能 |
冷却方式 | 风冷 |
腔体门 | 带可视窗高强度铝合金，并在触摸屏上自动识别开/关 |
真空泵控制 | 主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭 |
温度控制 | 在等离子激发频率为13.56MHz的情况下，在满功率运行30分钟后清洗腔内温度不高于32℃，清洗过程不损伤样品本身的性能 | —— |
供电电源 | AC220V/50Hz |
箱体平衡 | 减震橡胶脚杯 |
质保期 | 主机2年，真空泵1年 |
机箱材质 | 机箱面板采用磨砂烤漆材质增强耐腐蚀能力 |
机箱尺寸(mm) | 560x360x450(WxHxD) | 560x390x450(WxHxD) |
标准配置 | 主机、双级旋片真空泵、2米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡、两路气体质量流量控制器（MFC）和两路进气管 |
选配件 | 1、安捷伦干式真空泵，防止油气挥发（高洁净实验室适用），2、OF-20油污过滤器，3、大于两路气体质量 流量控制器（MFC）可定制，4、真空腔体大于7L可定制，5、分子泵机组MPU-90i（高真空等离子体） |
期刊名称：Nature Communications
影响因子：16.6
中科院分区：1区Top
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：同济大学
处理材料：硅/二氧化硅（主要作用是衬底活化和剥离单层石墨烯）
期刊名称：Nano-Micro Letters
影响因子：31.6
中科院分区：1区Top
善准品牌：SUNJUNE
用户单位：四川大学
处理材料：导电碳布电极（应用于可穿戴智能设备）
期刊名称：Energy & Environmental
期刊名称：Science
影响因子：34.5
中科院分区：1区Top
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：中国科学院北京纳米能源
用户单位：与系统研究所
处理材料：棉纺纤维（碳布）
期刊名称：Nature
影响因子：64.8
中科院分区：1区Top
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：西湖大学
处理材料：氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理整个过程不接触空气)
江南大学2020年购买了善准VP-R3真空等离子处理仪，随后又购买了VP-RS6和VP-S5,随着研究的深入，又采购了旋转型等离子处理仪VP-TS7和VP-T3，累计购买5台
昆明理工大学2022年购买善准旋转型真空等离子处理仪VP-T3、2023年购买善准VS-Q1真空封管机，同年定制善准旋转型真空等离子处理仪VP-TS12
核工业西南物理研究院2024年购买善准旋转型真空等离子处理仪VP-TS7，并配备善准的MPU-90i分子泵机组，在超高真空环境下研究等离子体对材料的作用
清华大学从2019年购买了善准第一台真空等离子处理仪VP-R3后续陆续购买真空等离子处理仪VP-RS6和旋转型真空等离子处理仪VP-T3，已累计购买10台
善准科技SUNJUNE的产品功能、设计、外观均已取得国家专利（包括但不限于本网站所刊载的图片、视频、案例等）均属于我司的知识产权，任何组织和个人未经我司书面许可不能抄袭、使用，如有侵犯，我司将依法取证并追究法律责任。
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真空等离子处理仪选型指南
真空等离子处理仪选型指南需要考虑清洗样品的大小、材料耐热度、等离子体的激发频率以及样品的形态是粉末还是块体等因素。
