善准VP-R系列真空等离子处理仪对标国际一线厂商，补充国内技术短板（专利：低温真空石英腔体等离子清洗装置），VP-R系列频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品；整机工作真空＜10Pa，防止样品被氧化，适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
13.56MHz物理清洁、刻蚀；化学改性、活化俱佳
真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389
中英文操作系统，触摸屏控制，界面智能化设计，避免误操作
低温真空石英腔体等离子清洗装置专利：ZL2018215073278
Better Reliability，Better Operation
真空等离子处理仪专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调；可通入氮气泄压
性能媲美国际一线厂商，在控制自动化，人性化设计方面更完善
通入气体和泄压是独立通道互不干扰；自动泄压比手动泄压更方便
腔体低温，满功率运行30分钟腔体温度不高于32°C，不损伤样品
腔体材质为石英，不与等离子体反应，保证样品不被污染
13.56MHz等离子体处理对材料既有清洁、刻蚀、也有活化改性作用
VP-R3接触角测量报告（如需详细报告请联系工程师）
石英材质真空腔体不与等离子体产生反应，不会污染样品
带可视窗高强度铝合金腔门，并且可在触摸屏上识别开或关
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
清华大学从2019年购买了善准第一台真空等离子处理仪VP-R3后续陆续购买真空等离子处理仪VP-RS6和旋转型真空等离子处理仪VP-T3，已累计购买10台
华南理工大学购买善准真空等离子处理仪VP-R3，经用户反馈与进口等离子产品(图左)相比使用体验更好，使用VP-R3参与做实验的论文累计发表11篇(不完成统计)
中山大学已购买善准真空等离子处理仪和真空封管机超过30套，是善准最大的单一客户
同济大学2020年购买善准真空等离子处理仪，之后给我们介绍了很多客户(复旦、中科院、西湖大学等)，使用VP-R3参与做实验的研究成果“二维光电器件中的非对称操控”发表在期刊《Nature Communications》(中科院1区Top，影响因子16.6)
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质，增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
绿色曲线为处理前的XPS谱图，曲线一直都是平稳走向
红色曲线为处理后的XPS谱图，曲线在285eV左右有个峰值，
可知石墨烯粉末的性质已改变
ITO导电玻璃等离子VP-R3处理接触角测量仪分析
CM-180接触角测定可知，未处理ITO接触角为80°C，处理后ITO接触角48°C，亲水性明显增强
处理前平均接触角、右接触角和左接触角三条曲线分离，处理后三条曲线重合，说明ITO表面更平整
VP-R系列满功率运行30分钟腔体温度低于32°C，非常适合ITO导电玻璃不耐热属性
型号 | VP-R手动版 | VP-R3 | VP-R5 | VP-R10 |
腔体材质 | 石英玻璃 |
腔体容量 | 2L | 3L | 5L | 10L |
内腔尺寸（mm） | Φ100xD200 | Φ150xD200 | Φ150xD270 | Φ210xD320 |
射频功率 | 0-160W/200W（高功率版），自动电阻阻抗匹配 |
射频频率 | 13.56MHz |
RF放射 | 无 |
频率偏移量 | 小于0.2KHz |
等离子体轰击 | 从四周向中间 |
等离子体激发 | 触摸屏一键自动启动 |
腔体温度 | 满功率运行30分钟腔体内温度＜32℃ |
功率调节 | 高、中、低三挡可调 |
过载保护 | 具有电流过载保护功能，实时显示电流值 |
清洗时间 | 手动设置 | 0 - 1800 s 可调，精确到1秒
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显示屏 | 无 | 4.3英寸触摸屏 |
操作控制 | 手动控制 | 触摸屏控制（设置清洗时间），并提供中英文两种操作界面 |
气体流量计 | 无 | 高精密2路浮子流量计（常用气体：氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳，氨气等，其他混合气体） |
提供进气气路 | 一路进气，进气可调 | 两路进气，气体流量0-300ml/min可调 | 两路进气，气体流量 0-600ml/min可调 |
进气管 | 一根6x4PU管 | 两根6x4PU管，尾端配6转6快拧接头 |
泄压 | 手动开关泄压，泄压速度可调 | 等离子处理结束，自动泄压，泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道（选配） |
整机气密性高 | 接上波纹管，连接等离子主机腔室，真空度＜10Pa |
真空泵真空度 | 极限全压力≤5x10-¹Pa |
抽速 | ≥4m³/h
| ≥8m³/h |
噪音 | ≤52dB |
抽真空时间 | 启动到发出辉光≤50秒（时间可调） | ≤60秒（时间可调）
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真空检测 | 无 | 数字显示，实时观察腔体真空度状态 |
泄漏检测 | 无 | 触摸屏上有一键泄漏检测功能 |
冷却方式 | 风冷 |
腔体门 | 带可视窗铝合金 | 带可视窗高强度铝合金，并在触摸屏上自动识别开/关 |
真空泵控制 | 主机与真空泵联动 | 主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭 |
供电电源 | AC220V/50Hz |
箱体平衡 | 减震橡胶脚杯 |
温度控制 | 在等离子激发频率为13.56MHz的情况下，在满功率运行30分钟后清洗腔内温度不高于32℃，清洗过程不损伤样品本身的性能。 |
质保期 | 主机2年，真空泵1年 |
机箱材质 | 机箱面板采用磨砂烤漆材质增强耐腐蚀能力 |
机箱尺寸(mm) | 420x320x420(WxHxD) | 560x360x450(WxHxD) | 650x420x500(WxHxD) |
标准配置 | 主机、双级旋片真空泵、2米波纹管、两路/一路（手动版）进气管、清洗托盘、六角工具、说明书、 合格证、保修卡 |
选配件 | 1、油污过滤器 2、高硼硅圆形托盘 3、干性真空泵（防止油气挥发，高洁净实验室适用） |
期刊名称：Nano-Micro Letters
影响因子：31.6
中科院分区：1区Top
善准品牌：SUNJUNE
用户单位：四川大学
处理材料：导电碳布电极（应用于可穿戴智能设备）
期刊名称：Energy & Environmental
期刊名称：Science
影响因子：34.5
中科院分区：1区Top
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：中国科学院北京纳米能源
用户单位：与系统研究所
处理材料：棉纺纤维（碳布）
期刊名称：Nature Communications
影响因子：16.6
中科院分区：1区Top
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：同济大学
处理材料：硅/二氧化硅（主要作用是衬底活化和剥离单层石墨烯）
期刊名称：Nature
影响因子：64.8
中科院分区：1区Top
善准品牌：SUNJUNE PLASMA
用户单位：西湖大学
处理材料：氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理整个过程不接触空气)
哈尔滨工业大学2020年购买了2台善准真空等离子处理仪VP-R3，2021年再次购入2台VP-R3，2024哈工大深圳校区，郑州研究院分别购入VP-RS8，累计购买了6台
浙江大学2020年购买2台真空等离子处理仪VP-R3，2021年继续购买了1台VP-R3,2022年和2023年分别购买VP-S5,2025年购买VP-RS6和VP-R5(配干泵)累计购买7台
复旦大学2020年购买善准第一台真空等离子处理仪VP-R3，后续又购买了4台VP-R3、3台VP-RS6、1台VP-S5，累计购买9台
清华大学从2019年购买了善准第一台真空等离子处理仪VP-R3后续陆续购买真空等离子处理仪VP-RS6和旋转型真空等离子处理仪VP-T3，已累计购买10台
善准SUNJUNE的产品功能、设计、外观均已取得国家专利（包括但不限于本网站所刊载的图片、视频、案例等）均属于我司的知识产权，任何组织和个人未经我司书面许可不能抄袭、使用，如有侵犯，我司将依法取证并追究法律责任。
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2021-04
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真空等离子处理仪选型指南
真空等离子处理仪选型指南需要考虑清洗样品的大小、材料耐热度、等离子体的激发频率以及样品的形态是粉末还是块体等因素。
